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Nova 系列扫描电子显微镜 (SEM) 具有低真空功能，是满足研究实验室、半导体和数据存储实验室和制造工厂、生物和生命科学实验室及其他行业各种成像、分析和样品制备需求的理想之选。 Nova 系统包含 EBIC、冷冻样品台、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。精确真实的纳米尺度信息，卓越的高电压和低电压衬度，100 V 以下的高分辨率成像，快速分析，使用低真空对大多数带电或污染样品进行超高分辨率研究。这些均为 Nova™ NanoSEM 场发射扫描电镜多年前即已具备的基本特征。
Nova NanoSEM系列产品除先进的光学（包括双模最终透镜）、SE/BSE（二次电子/背散射电子）透镜内探测和射束减速的强大组合功能之外，采用了最新一代高灵敏度伸缩式 SE/BSE 和 STEM 探测器的全新套件，并具备多功能SE/BSE 过滤功能，最大程度地优化重要信息。智能扫描模式可用于最大程度减少假像。样品清洁对于低电压高分辨率成像至关重要，可使用 FEI 整合解决方案（使样品表面免于碳氢化合物污染）加以维护。NovaNanoSEM 450 配置了最高 200 nA 射束电流和大型电动倾斜样品台，分析能力因此也大幅提升。一切均不会影响 Nova NanoSEM 的高分辨率性能。